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微机电系统与设计
娄利飞编著更新时间:2018-12-28 18:41:12
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全书共8章,第1章初识微机电系统。第2章阐述了用于传感或执行元件工作的基本机理,并介绍了一些典型的微传感器和微执行器。第3章讨论了用于微机电系统的多种材料。第4章描述了怎样制造微机电系统和器件。第5章详细介绍了微机电系统的设计仿真、分级建模和MEMSCAD技术。第6章讲述了微机电系统设计和封装中相关的工程力学问题和尺度效应。第7章和第8章主要介绍微机电系统的封装和检测技术等。
上架时间:2010-05-01 00:00:00
出版社:电子工业出版社
上海阅文信息技术有限公司已经获得合法授权,并进行制作发行
微机电系统与设计最新章节
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- 8.4.2 输出量的检测
- 8.4.1 物理输入量的测量
- 8.4 微机电系统的性能检测
- 8.3.4 微执行器运动速度的测量
- 8.3.3 微量力的测量
- 8.3.2 薄膜构件的膜厚测量
- 8.3.1 微型构件三维几何尺寸的测量
- 8.3 微机械结构的性能检测
- 8.2.4 热导率和热扩散率的测量
娄利飞编著
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