前言

随着信息化时代的飞速发展，集成电路制造业已成为推动现代科技创新的基础性产业，并作为重要引擎加速着正蓬勃兴起的人工智能科技革命进程。集成电路制造业是技术和人才高度密集的产业，因此，持续学习能力和创新能力成为构建产业核心竞争力的关键因素。

近年来，随着国内集成电路产业体系的快速发展，特别是“集成电路科学与工程”作为一级学科的确立，该领域的知识内涵得到了极大的丰富。然而，在学科和课程建设过程中，我们发现传统的专业体系在适应产业需求方面存在不足，原有学科间的融合也有待加强。为此，本书结合集成电路制造技术和产业特性，致力于构建一个全面、系统的集成电路制造技术知识体系，旨在培养具有跨学科视野的专业人才，以更好地满足产业发展的需要。

本书以集成电路制造业的前沿技术为核心，以全产业链为主线，深入介绍从上游到下游的各个环节，并进一步细化这些环节。本书聚焦基础问题与核心技术，打破学科界限，强调软件与硬件的融合，整合多学科知识，并梳理产业结构，绘制出涵盖集成电路制造及其相关服务的完整技术图谱。本书整体结构和内容要点如图1所示。

图1　本书整体结构和内容要点

本书的特色在于将学术知识与产业实践紧密结合，采用“以线为链、分形推进”的编写方法，从具体应用出发，逐步深入集成电路制造的各个环节并剖析其上下游关联，最终构建集成电路制造业的全景图。这种方式既能保证内容的深度，又能兼顾知识的广度，可以帮助读者深入理解集成电路制造的完整流程，从而开拓产业视野，避免单一视角的认知局限。希望本书能促进学术界与产业界的深度融合，缩短理论研究与实际应用的距离，并对培养更多集成电路产业的高素质专业人才有所帮助。

在阅读本书时，请注意以下3点。

（1）综合运用：建议查阅相关资料，并与实际相结合进行学习，以便更直观地理解复杂的概念和技术细节。

（2）批判思维：在吸收知识的同时，有意识地培养独立思考的能力，批判性地看待集成电路技术的发展趋势。

（3）持续更新：集成电路是一个快速发展的领域，建议定期查阅最新的研究成果和技术进展，以保持知识的时效性。

本书由赵巍胜领衔，王新河、林晓阳、常晓阳负责章节组织和统稿。第1章由常晓阳、王新河共同撰写，第2章由张慧、史可文、郑东尧、肖洢柟共同撰写，第3章由张婕、杨光共同撰写，第4章由彭守仲、芦家琪共同撰写，第5章由伍连博、王雪岩、潘彪共同撰写，第6章由郑翔宇撰写，第7章由林晓阳、常晓阳共同撰写，第8章由李栋撰写，第9章由黄阳棋、于跃东共同撰写，第10章由王新河、赖剑春共同撰写，第11章由常晓阳、王新河共同撰写，第12章由李栋撰写。在编写本书的过程中，我们得到了多位行业专家的支持与指导。在此，向所有支持本书编写的同仁表示衷心感谢！

由于水平及时间所限，书中难免存在不足之处，恳请读者指正。

编者